無塵室測試范圍介紹

無塵室測試范圍介紹

無塵室測試范圍介紹

凡是和無塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無塵室認證的范圍之內(nèi)。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位‧應(yīng)就以下幾個主題做詳細討論并達成協(xié)議，以利測試進行。

1. 待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量
2. 測試的目的
3. 測試程序
4. 使用儀器
5. 測試報告撰寫方式與內(nèi)容
6. 工期
     

在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發(fā)現(xiàn)問題時也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1 

章節(jié)	測試項目	單一流向型	非單一流向型	混合型
6.1	風(fēng)量與均勻度 風(fēng)速與均勻度	1,2,3 1,2,3	1,2,3 OPT	1,2,3 OPT
6.2	濾網(wǎng)泄漏	1,2	1,2	1,2
6.3	潔凈度	1,2,3	1,2,3	1,2,3
6.4	壓力	1,2	1,2,3	1,2,3
6.5	平行度	1,2	N/A	OPT (1,2 only)
6.6	空間泄漏	1,2	1,2	1,2
6.7	恢復(fù)率	N/A	1,2	1,2
6.8	粒子沉降測試	1,2,3	1,2,3	1,2,3
6.9	照度	1,OPT(2,3)	1,OPT(2,3)	1,OPT (2,3)
6.10	噪音	1,2,3	1,2,3	1,2,3
6.11-6.13	溫濕度	1,2,2 OPT	1,2,3 OPT	1,2,3 OPT
6.14	振動	OPT	OPT	OPT

測試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

1:測試適用于As-built狀態(tài)
2:測試適用于At-rest狀態(tài)
3:測試適用于Operational狀態(tài) 

N/A:代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定

由上表可看出，風(fēng)量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因為不易受干擾。

風(fēng)速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為容易受干擾。當(dāng)然這是IEST的建議，我們可以自行決定。

至于測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。

第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關(guān)的測試都屬第一級，每個無塵室都應(yīng)至少應(yīng)做的測試。

第一級測試項目包括：

A.風(fēng)速量測
B.風(fēng)量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網(wǎng)泄漏測試
E.潔凈度測試
F.壓力量測

第二級〈Level   II〉:第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進行。

A.氣流平行度量測〈只適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復(fù)率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經(jīng)很少做〉

第三級〈Level   III〉:第三級測試就與氣流無關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。

A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫濕度測試

這里說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序，當(dāng)然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標準。

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